周日的早晨,天音芯片厂车间里,段云以及吴刚带领的7名技术人员,还有那两名荷兰工程师,早早就等待了无尘车间的C区,准备对新生产线进行最后的测试。
吴刚等7名技术人员全部签订了保密协议,他们也是整个芯片厂几十名技术人员中,少数有资格进入C区的工作人员。
因为这4台阿斯麦光刻机还属于禁运产品,为了不给阿斯麦公司造成麻烦,段云对新生产线的消息进行了严格封锁,并且将机器上的logo和标识全部刮除,重新刷上了一层防锈漆,整个机器找不到关于厂家的任何标志。
另外C区连接目前东芝生产线的A区只有一个产品通行传输带,从东芝生产线生产出来的晶圆片会通过传输带运到C区,经过光刻处理之后,再重新传送到A区,新车间非常的隐蔽,人员过道还加装了磁卡门禁,这道门禁支持录入20张磁卡,没有磁卡的人是无法进入C区的。
“可以开始了吗?”一切准备就绪之后,段云对两名荷兰工程师问道。
“可以了。”文森特应了一声,然后坐在控制台上,输入一串密码后,启动了光刻机。
相比于日本的东芝光刻机,阿斯麦的光刻机外观看起来更加的紧凑,主要分为三个部分,曝光台,测量台,以及拥有两个显示器的操作台。
随着操作台主显示器上一串代码闪过之后,曝光台开始发出了轻微的嗡鸣声,紧接着圆晶片开始进入光刻阶段。
这一刻在场的所有的人都屏住了呼吸,空气仿佛都凝固了一般。
因为没有一微米制成芯片技术的掩膜,所以段云采用的还是东芝公司三微米制程技术的flash闪存芯片掩膜,同时还有学习机上专用的仿制版6微米制程的6052芯片掩膜。
很快,10片圆晶片只用了不到5分钟就完成了光刻程序,经过传输带,传回了A区的生产车间,在那里,这10片圆晶片还有经过蚀刻等一系列工序处理,最后进行成品率检验。
完成10片Flash芯片圆晶片光刻处理之后,两名阿斯麦的工程师又重新更换了掩膜,准备再加工20片6052仿制品的芯片。
6微米的制成技术还是上世纪70年代末的水平,因为内部结构要比flash芯片简单的多,所以加工效率也非常的高,20块圆晶片只用了不到4分钟就加工完成,自然在场的所有人,包括段云在内,都感到了惊讶。
因为之前用东芝的光刻机加工这种芯片,20块圆晶片起码需要8~9分钟左右,而阿斯麦的这台光刻机效率整整快了一倍。
在芯片领域,技术代差不仅仅意味着产品技术的提升,同时也代表着生产效率的提高以及成本的大幅降低,最早的6052芯片刚刚研发出来的时候,每一枚芯片的价格高达200美元,然而到了80年代中期的时候,这个价格却变成了几美元,便宜了将近百倍,其中最重要的原因就是先进的芯片生产线设备在生产低端芯片的时候,效率是非常惊人的,而且价格也非常的低廉。
不需要过多的说明,只是通过实地演示,在场的众人就立刻看到了这4台阿斯麦光刻机的价值。
尽管段云的天音电子集团还没有研发出基于一微米制程技术的芯片,然而即便是生产制成相对落后的Flash闪存芯片,以及6052仿制芯片,也可以大幅度的降低成本和提高生产效率,同样的芯片,阿斯麦的光刻机只需要用一半的时间就能完成,4台光刻机同时启动的话,将会把目前flash芯片的极限产量至少提高10倍以上,达到每天惊人的20万枚芯片左右!
按照这个产量计算,段云的芯片厂引入这4台光刻机之后,月产量600万枚Flash芯片,年产量则高达7000多万枚芯片!
其实在1988年的时候,中国的集成电路年产量刚刚达到1亿块,按照当时的通用标准,一个国家的集成电路产量达到1亿块,标志着开始进入工业化大生产,美国在1966年的时候率先达到,日本随后在1968年达到,这也就是说,现如今中国芯片的产量,只相当于日本和美国60年代中后期的水平,差距非常的大。
而段云凭借天音集团一己之力,就可以达到全国70%的芯片产量,这是个相当恐怖的壮举。
可即便如此,和现如今芯片年产量突破5亿片的东芝公司相比,段云还不到人家的1/5,差距还是非常巨大的。
而且段云的4台光刻机还不能组成完整的生产线,其他的设备还需要引进购买,现在这个阶段,只能够生产一些制程技术比较低的芯片。
虽然有些无奈,不过也有好的一方面,那就是段云还不会马上暴露出他们天音集团拥有生产一微米制程芯片的能力,不会引起美日等国家的警觉。
另外段云芯片研发组正在研发三微米制程技术的NAND芯片,如果这种芯片能够研发成功,下一步就要开始研发一微米制程的储存芯片,而到了那个时候,段云就有机会和国际上的大厂商进行竞争。
20片圆晶片加工完成了之后,段云等人转而走向了检验室,等待芯片成品的诞生。
“段经理,咱们成功了!”
10多分钟后,当吴刚拿着验收报告出来后,脸上满是兴奋之色。
“合格率怎么样?”段云连忙问道。
“Flash圆晶片的成品率是94%,6052仿制芯片成品率是100%!”吴刚满脸笑容的说道。
“100%!?”
听到吴刚说出的芯片合格率,在场众人都吃了一惊。
在芯片制造领域,是不存在100%的合格率,尤其是最顶级的芯片产品,一般能达到80%以上,就算合格了,而如果合格率在百分之以下,有可能就会赔钱。
用分辨率高的先进光刻机生产出来的低端芯片,往往有着很高的合格率,虽然不可能达到100%,但是却可以无限接近这个数值。
20片圆晶片测试的基数还是太少,但不管如何,至少证明这4台阿斯麦光刻机确实要比东芝的光刻机先进。