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第一千二百八十二章 ASM

1980年左右,中科院半导体所开始研制JK-1型半自动接近式光刻机,于1981年研制成功两台样机。
而由于美国在50年代就已经拥有了接触式光刻机,相比之下,中国落后了将近20年,同时国外从1978年开始转向分步重复投影光刻,此时中国科学界也认识到,分布投影光刻技术的优越性,但限于国内工业技术差难以实现。
在1978年世界上第1台DSW光刻机问世不久,机电部第45所,就开始跟踪研究分步式光刻机,对标美国的4800DSW,1985年研制出了BG-101分部光刻机样机,并通过电子部技术鉴定,认为达到了美国同类产品水平,而当时采用的是436纳米G线光源。
这也就意味着1985年的时候,中国在高科技领域与国外的差距拉近到了7年左右,也就是达到了美国1978年的水平。
可以看出国产光刻机。研发在上世纪70年代后期起不直到80年代,后期技术一直在推进,并且取得了一定的代表性成果。
然而到了80年代中后期,中国却因为技术封锁以及买办思想盛行,造成了光刻机的落后。
当时的巴统协议不批准向中国出售先进的设备,国外工艺线已用0.5微米的设备时,却只对我国出口1.5微米的设备,整整差了三代,此外8组还规定对我国出口的光刻机镜头na必须小于0.17,既只能有二微米以上的分辨率。
所以说目前段云从日本东芝引进的三微米芯片制程生产线,是正好符合巴统协议要求的,而目前日本最先进的0.9微米制程的芯片生产线,是巴统协议严格禁止对中国出口的。
段云如果想制作出一微米制程的芯片,目前是不可能从国外直接买到现成设备的,只能靠国内研发。
因为买办思想的盛行,当时中国的光刻机虽然技术领先,但是也遇到很多的问题,因为搞研发就需要有很多的资金投入,但这些资金投入之后,有一些技术上的问题,在当时又不能够很好的解决,因此看到国外很多先进的设备之后,国家也就放弃了,对设备的研发变成了购买。
这样最终就导致了中国的光刻机研发上完全停滞,很多搞光刻机研发公司因为没有资金的支持就变得岌岌可危,最后公司也倒闭破产。
段云如果想制作出世界领先的NAND闪存芯片,并且在闪存芯片领域保持长期的优势地位,那就必须要有更先进的光刻机。
在摩尔定律下,每18个月集成电路上可容纳的晶体管数目就会增加一倍,这就需要生产芯片的光刻机保持迭代。
段云可以选择投资开发国产光刻机,但投入的资金比较大,而且周期也比较长,有点远水解不了近渴。
经过一番思考后,段云决定做两方面的准备,一方面就是和国内的科研院所相关机构合作,共同开发工作机。
另外一方面就是要想方设法从国外直接购买作为先进的一微米制成光刻机,解决当前的芯片生产线升级问题。
但是从哪一家购买光刻机却成了一个问题。
后世的人一提起光刻机,很容易就想起了荷兰的阿斯麦公司,而在1988年的时候,阿斯麦公司在光刻机领域并没有多大的名气,而且这家公司几乎濒临破产,甚至连发工资的钱都没有了。
早年的阿斯麦诞生于飞利浦物理实验室和飞利浦科学与工业部,城市一群天才科学家所说的玩具。
20世纪70年代荷兰经济衰退,出现经营危机的飞利浦丧失了不断的兴趣,想要将投资了上亿美元的阿斯麦实验室剥离出去。
最开始项目负责人找了三家公司洽谈光刻机的合作事宜,最终都以失败告终。
直到1984年的时候,S&I和ASM成立合资公司阿斯麦,双方各占50%股份。
但公司成立之初,这家合资公司除了十几台光刻机库存,账户上只有30万美元。
此时全世界光刻机市场共有10多个玩家,既有占据较大市场份额的美国公司,也有虎视眈眈的新秀,日本尼康和佳能,阿斯麦在这一领域完全垫底,市场份额可以忽略不计。
所以从一开始的时候,就没人看好阿斯麦公司。
而在80年代,日本尼康迅速崛起,相较于美国光刻机龙头GCA,尼康的光刻机性能更稳定,1982年的时候,美国GCA还在日本市场占据95%的市场份额,然而到了1983年,已经降低到45%,绝大部分市场由日本尼康获得。
包括段云现在从东芝公司引进的光刻机,也正是由尼康公司生产的。
在1984年至1987年三年里,整个光刻机行业正遭遇洗牌,1986年,10家光刻机公司,有三家退出市场,剩下的7家供应商也在接下来几年陆续出局,昔日的光刻机龙头美国GCA濒临破产,已经到了,要用及所持有的蔡司股份来支付蔡司镜头费的地步了。
而这个时候的阿斯麦公司也是举步维艰,1986年本预定了阿斯麦一半订单的美国半导体公司AMD,在最后关头撕毁合同,让阿斯麦创记录的亏损超过1400万美元。
次年,光刻机行业低价倾销,产能过剩,阿斯麦还不得不降价促销产品,利润又受到影响。
1986年1987年两年分别亏损2500万美元和2300万美元。
现如今进入1988年,阿斯麦公司用完了最后2500万美元的全部信用额度,公司没有发工资的钱,财务总监都要跑到飞利浦乞讨,要来一些钱给工人发工资。
其实现在这个时候的阿斯麦,距离死亡只有一线。
以阿斯麦的技术,完全可以生产出质量很好的一微米制程的光刻机,而段云手里还握有1500万美元的外汇,但是受限于巴统协议,段云不可能从国外直接购买到先进光刻机,而阿斯麦也不可能将这种先进的光刻机产品卖到中国。
可是眼下阿斯麦面临困境,公司正走在破产边缘,段云认为这是个好机会,说不定阿斯麦会为这笔生意铤而走险。
这就好比一个即将溺死的人,看到有人递来一根长满尖刺的荆棘,明知道有可能会受伤,但还是会冒险抓住……

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